پیوندهای مفید
اخبار و اعلانات
آمار
| تعداد نشریات | 161 |
| تعداد شماره‌ها | 6,532 |
| تعداد مقالات | 70,501 |
| تعداد مشاهده مقاله | 124,098,029 |
| تعداد دریافت فایل اصل مقاله | 97,205,604 |
ریز ماشینکاری PET با استفاده از لایه برداری شیمیایی در حضور | ||
| نشریه دانشکده فنی | ||
| مقاله 4، دوره 41، شماره 7 - شماره پیاپی 1827، آذر 1386 اصل مقاله (1.84 M) | ||
| نویسندگان | ||
| نیما ایزدی؛ امیر سماک؛ شمس الدین مهاجرزاده* | ||
| چکیده | ||
| در این مقاله لایه برداری از زیرلایه پلی-اتیلن-ترفتالایت بصورت عمودی و در نواحی تعریف شده توسط حلال های خاص و در حضور اشعه ماوراء بنفش گزارش می‌شود. با توجه به عدم حل شدن این ماده بدون حضور UV امکان لایه برداری بصورت کاملا عمودی و بدون پدیده زیر- خوردگی عملی می باشد. ایجاد الگوهای پیچیده و بسیار کوچک توسط این تکنیک نوین عملی می باشد. نرخ لایه برداری بین 1 الی 8 میکرومتر بر دقیقه می باشد که بشدت به میزان اشعه ماوراء بنفش بستگی دارد. ساخت انواع ساختارهای مناسب برای تکنولوژی ریز ماشینکاری گزارش می‌گردد. چرخدنده های میکرومتری و ساختارهای اینتر-دیجیت که در ساخت شتاب سنج ها کاربرد دارند گزارش می گردد. با ترکیب این تکنیک با لایه نشانی الکتروپلیتینگ می توان به ساخت موتورها و شیرها- محرکه ها و حتی قطعات مورد استفاده در اپتیک دست یافت. | ||
| کلیدواژه‌ها | ||
| الگودهی؛ حلال شیمیایی؛ لایه برداری عمودی؛ ماورا بنفش | ||
| عنوان مقاله [English] | ||
| - | ||
| چکیده [English] | ||
| In this paper, we report vertical etching of poly-ethylene-terephtalate plastic substrates by means of a chemical solvent and in the presence of ultra-violet illumination. Since the PET substrate is not dissolved in solvent without a UV source, only the desired areas with proper opening for UV exposure are removed in a vertical fashion. The etch rate varies between 1 and 8 micrometer per minute, depending on the process conditions. Various structures such as micro-gears and interdigital structures have been realized using this approach. Combining this method with electroplating, the fabrication of micro-motors, micro-valves and optical devices would be possible. | ||
| کلیدواژه‌ها [English] | ||
| Chemical Solution, Micro, Patterns, Ultra, Vertical etching, Violet | ||
|
آمار تعداد مشاهده مقاله: 1,635 تعداد دریافت فایل اصل مقاله: 901 |
||