پیوندهای مفید
اخبار و اعلانات
آمار
| تعداد نشریات | 162 |
| تعداد شماره‌ها | 6,691 |
| تعداد مقالات | 72,219 |
| تعداد مشاهده مقاله | 129,110,995 |
| تعداد دریافت فایل اصل مقاله | 101,915,144 |
ریز ماشینکاری PET با استفاده از لایه برداری شیمیایی در حضور | ||
| Journal of Algorithms and Computation | ||
| مقاله 7، دوره 41، شماره 5، اسفند 2007، صفحه 567-576 اصل مقاله (1.84 M) | ||
| نوع مقاله: Research Paper | ||
| شناسه دیجیتال (DOI): 10.22059/jac.2013.7879 | ||
| نویسندگان | ||
| Nima Izadi؛ Amir Samak؛ Shamsoddin Mohajerzadeh* | ||
| چکیده | ||
| In this paper, we report vertical etching of poly-ethylene-terephtalate plastic substrates by means of a chemical solvent and in the presence of ultra-violet illumination. Since the PET substrate is not dissolved in solvent without a UV source, only the desired areas with proper opening for UV exposure are removed in a vertical fashion. The etch rate varies between 1 and 8 micrometer per minute, depending on the process conditions. Various structures such as micro-gears and interdigital structures have been realized using this approach. Combining this method with electroplating, the fabrication of micro-motors, micro-valves and optical devices would be possible. | ||
| کلیدواژه‌ها | ||
| Vertical etching؛ Ultra؛ Violet؛ Micro؛ Patterns؛ Chemical Solution | ||
|
آمار تعداد مشاهده مقاله: 1,354 تعداد دریافت فایل اصل مقاله: 582 |
||
سامانه مدیریت نشریات علمی. قدرت گرفته از سیناوب